Сегодня еще раз попробовал светильник. Решил проверить, что будет, если засветить в течение 15 и 30 секунд. Получается, что даже 30 секунд — перебор:
На непротравленном фото плохо видно, но слева между ногами микроконтроллера слабые голубые перетяжки. Теперь понятно, почему на тесте у меня участок 10-30 секунд отклеивался: из-за переэкспозиции остального пришлось травить долго, в итоге нормально проэкспонированный фоторезист отдирался. Вот что вышло после травления:
Мусор (горизонтальные полосы) образовался из-за того, что шаблон уже потертый, надо новый сделать. Хоть и делал тяп-ляп, между ногами микросхемы замыкания только в паре мест (но там и изначально было видно какой-то мусор, можно было иголкой до травления решить вопрос). Значит, нужно проверить при помощи тестовой маски диапазон 5..15с. Возможно, нужно даже меньше 15с экспонировать. Но явно 30 секунд — уже перебор!